半導(dǎo)體外延爐做為半導(dǎo)體設(shè)備中獲得原材料外延生長(zhǎng)的核心設(shè)備，其維護(hù)與保養(yǎng)需結(jié)合機(jī)器設(shè)備特點(diǎn)、加工工藝需求以及標(biāo)準(zhǔn)，必須日常清理以保證設(shè)備、延長(zhǎng)其使用壽命以確保加工工藝可靠性。
1.機(jī)殼與散熱設(shè)計(jì)清理
定期使用綿軟無絲絨布擦洗設(shè)備外殼，去除污垢、污垢及細(xì)微顆粒，防止根據(jù)通風(fēng)孔或間隙進(jìn)到內(nèi)部結(jié)構(gòu)，影響電子元器件排熱。
清除進(jìn)氣口和通風(fēng)口，防止塵土阻塞危害散熱效率。比如，散熱鰭片積灰也會(huì)降低熱交換器高效率，需用壓縮空氣或軟刷清除。
查驗(yàn)散熱器風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn)情況，清除葉子變型、損壞臟東西盤繞，保證快速平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)。
2.生長(zhǎng)發(fā)育腔內(nèi)部結(jié)構(gòu)清理
吸咐物清除：應(yīng)用吸塵器清理生長(zhǎng)發(fā)育腔內(nèi)部結(jié)構(gòu)吸咐物，除塵桿要用鋁鉑包囊，防止接觸內(nèi)腔。從各連接處進(jìn)到，保證充足吸去殘余物。
法蘭盤與液壓密封件維護(hù)保養(yǎng)：用粘有酒精無塵擦拭布擦干凈法蘭盤傷口，更換密封圈再裝回構(gòu)件，避免傷口染上臟東西或受損。
源料外溢解決：
Ga源：提溫太快或源料過多導(dǎo)致鉗鍋外流時(shí)，用注射器針頭吸去液體Ga料；如已干固，用醫(yī)療刀頭去除。
In源：常溫下為固態(tài)且可塑性強(qiáng)，要用清潔手術(shù)刀片分步驟去除。
As源：加熱擴(kuò)散能力強(qiáng)，易粘在鉗鍋螺帽和行為主體聯(lián)接縫隙處，需關(guān)鍵清除。
依據(jù)半導(dǎo)體外延爐使用次數(shù)、生產(chǎn)商提議及歷史故障數(shù)據(jù)，制訂結(jié)構(gòu)型維修計(jì)劃。記錄每一次維護(hù)保養(yǎng)主題活動(dòng)（如清潔時(shí)間、拆換構(gòu)件、校正結(jié)論），剖析特性發(fā)展趨勢(shì)。定期使用校準(zhǔn)儀器檢驗(yàn)溫度感應(yīng)器性，保證其認(rèn)知溫度和自動(dòng)控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)信息一致。