半導(dǎo)體外延爐的PM（預(yù)防性維修）是保證系統(tǒng)長期性高效運行的重要環(huán)節(jié)，關(guān)鍵有如下維護保養(yǎng)具體內(nèi)容：
半導(dǎo)體外延爐的PM分成日常維護保養(yǎng)、維護保養(yǎng)和深度維護保養(yǎng)三個等級，依據(jù)機器設(shè)備使用次數(shù)和生產(chǎn)商強烈推薦周期時間實行。
清理：清除設(shè)施表層塵土，擦洗控制面板和機械部件，避免油漬或顆粒物殘余。
主要參數(shù)查驗：確定環(huán)境溫度、氣體壓力等關(guān)鍵參數(shù)合乎工藝標(biāo)準(zhǔn)。
維護保養(yǎng)
深層清潔：使用專用清潔液清理室，清除堆積物并注意內(nèi)腔刮痕。
構(gòu)件查驗：校正流量計、液位傳感器，清理過濾裝置，保證汽體系統(tǒng)軟件密閉性。
深層維護保養(yǎng)
構(gòu)件拆換：拆換室部件、空氣壓縮機油等關(guān)鍵部件。
功能測試：運行測試片認(rèn)證離子注入速率和均勻度，保證表層質(zhì)量合格。