半導(dǎo)體外延爐的隔熱材料主要有碳纖維保溫材料和石墨制品。
1.碳纖維隔熱材料
碳纖維保溫材料在半導(dǎo)體外延爐中主要用于隔熱，確保爐內(nèi)溫度的穩(wěn)定與均勻。該材料具有高純度和的隔熱效果，能承受高溫環(huán)境，并且避免外部雜質(zhì)的引入，從而保障半導(dǎo)體材料的純凈性。
半導(dǎo)體級(jí)單晶硅爐：用于生長(zhǎng)半導(dǎo)體級(jí)單晶硅，其需求量與硅片市場(chǎng)規(guī)模密切相關(guān)。
碳化硅單晶爐：專門(mén)用于碳化硅單晶的生長(zhǎng)，其工作溫度可達(dá)到2100℃至2300℃，因此對(duì)保溫材料的耐高溫性能和純度要求極為嚴(yán)格。
石墨制品
石墨制品在半導(dǎo)體外延爐中具有重要作用，主要用于碳化硅單晶的生長(zhǎng)及外延工藝。這些石墨制品的優(yōu)勢(shì)在于其耐高溫能力強(qiáng)、熱傳導(dǎo)性能好以及化學(xué)穩(wěn)定性高。
石墨坩堝：專門(mén)用于生長(zhǎng)碳化硅單晶，具備穩(wěn)定性、耐高溫特性，并與碳化硅材料具有良好的相容性。
外延石墨盤(pán)：專門(mén)用于碳化硅和硅的外延生長(zhǎng)工藝，具有多種設(shè)計(jì)形式，包括桶型、煎餅型和單晶片石墨盤(pán)。
這些材料的選擇和應(yīng)用保證了半導(dǎo)體外延爐的高效運(yùn)作以及優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。